服務(wù)熱線：13347181333
我公司可以根據(jù)客戶要求提供各種異形靶材的制作，根據(jù)客戶提供的圖紙制作各種規(guī)格尺寸的異形靶材。
| 靶材介紹 | ||||||
靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，通過更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。通常是在真空中加熱蒸發(fā)形成薄膜，可以通過磁控濺射、電子束蒸發(fā)、激光濺射等技術(shù)來制備薄膜。 | ||||||
| 優(yōu)質(zhì)靶材的要求 | ||||||
| 1、雜質(zhì)含量低，純度高。靶材的純度影響薄膜的均勻性。 | ||||||
2、高致密度。高致密度靶材具有導(dǎo)電、導(dǎo)熱性好、強度高等優(yōu)點，使用這種靶材鍍膜，濺射功率小，成膜速率高， 薄膜不易開裂，靶材使用壽命長，而且濺鍍薄膜的電阻率低，透光率高。 | ||||||
| 3、成分與組織結(jié)構(gòu)均勻。靶材成分均勻是鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定的重要保證。 | ||||||
| 4、晶粒尺寸細(xì)小。靶的晶粒尺寸越細(xì)小，濺鍍薄膜的厚度分布越均勻，濺射速率越快。 | ||||||
| 靶材的分類 | ||||||
| 按照化學(xué)成分 不同可分為 | （1）金屬靶材（純金屬鋁、鈦、銅、鉭等）。 | |||||
| （2）合金靶材（鎳鉻合金、鎳鈷合等）。 | ||||||
| （3）陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。 | ||||||
| 按照形狀不 同可分為 | 矩形靶、圓形靶、柱形靶、空心旋轉(zhuǎn)圓管靶以及異形靶。 | |||||
| 按照應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為 | （1）半導(dǎo)體芯片靶材 | |||||
| （2）平面顯示器靶材 | ||||||
| （3）太陽能電池靶材 | ||||||
| （4）信息存儲靶材 | ||||||
| （5）電子器件靶材 | ||||||
| （6）其他靶材 | ||||||
包頭市晶鑫稀土新材料有限公司 專業(yè)從事高純稀土靶材，打火石，稀土合金等稀土材料， 歡迎來電咨詢！
蒙ICP備2023002316號-1 
蒙公網(wǎng)安備 15020702000278號
