靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，通過更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。通常是在真空中加熱蒸發(fā)形成薄膜，可以通過磁控濺射、電子束蒸發(fā)、激光濺射等技術(shù)來制備薄膜。

2、高致密度。高致密度靶材具有導(dǎo)電、導(dǎo)熱性好、強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)，使用這種靶材鍍膜，濺射功率小，成膜速率高，

薄膜不易開裂，靶材使用壽命長，而且濺鍍薄膜的電阻率低，透光率高。